第二百九十九章 研发中的第四代光刻机（3/3）

他笑了笑，在进入实验室之前对罗佳认真的说道：“罗总，我的专业是激光，也自信能够搞定光刻机的光源问题，但您应该也知道，一台光刻机仅仅有光源是不够的，其他数以千计的核心零部件，我可就无能为力了。”

这算是给罗佳打预防针了，他说这话的意思是，我能帮你把超紫外混合激光搞出来，但激光之外的事情，我也是无能为力，还要看星辰科技自己的力量。

罗佳只是点头笑了笑，并没有说什么。

两个人很快来到这台机器跟前，罗佳淡淡的说，“这就是我们的初代机，它共分为十三大结构，分别是激光发生器，光束矫正器，能量控制器，光束形状调整器，遮光器，能量探测器，掩膜版，掩膜台，物镜，测量台，曝光台，封闭框架，磁悬浮减震。”

罗佳指着机器，介绍这台复杂的组成。

虽然听名字似乎很简单，但就算用脚后跟想也能明白，作为半导体行业的王冠，又怎么可能简单呢。

就拿这台光刻机的物镜来说，如果你以为那是一个类似单反镜头东西，那就完全错了。

asml公司euv型光刻机采用的物镜，高达一米八四，宽度接近七十公分，是德国光学巨头卡尔.蔡司集团，与激光巨头亚琛集团联合制造的。

物镜多少钱？

抱歉，无论罗佳掏多少钱，都买不到这套物镜。

从成本的角度估算，这套物镜的成本应该在一千万美元左右，其复杂程度和精确程度，足以被写入光学发展史。

罗佳给温成岭看的，就是这么个东西，它巨大而精密，充满科幻电影般的未来感。

而且asml的euv是第三代，罗佳这个是第四代，超紫外光，技术复杂程度还要更高。

“你们...竟然已经做到了这种程度！？”温成岭激动的瞪大眼睛，发出不可思议的声音。

刚才距离远，又隔着玻璃，所以没太看清楚，还以为是个样子货。

如今走进无尘实验室里，温成岭才恍然发觉，这台四代光刻机的完成度，已经如此之高！

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